[发明专利]一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法

摘要

本发明公开了一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法，其步骤为：采用一次离子束或电子束直接逐行扫描固体样品获取离子或电子扫描成像图像源图像；根据温度变化，获取离子或电子扫描成像图像漂移图像，建立离子或电子扫描成像图像随温度漂移的漂移模型；通过对漂移模型处理，获得离子或电子扫描成像图像的校正模型，结合温度变化曲线，校正漂移图像；对该自适应校正办法进行评价。

主权项

1.一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正办法，其特征在于，该自适应校正办法的步骤为：/n第一步：采用一次离子束或电子束直接逐行扫描固体样品，产生的成像信号输入到计算机并被存储为漂移图像，建立样品台装置漂移、扫描发生器中扫描基准电压漂移、聚焦离子束或电子束聚焦电压漂移与离子或电子扫描成像漂移图像间的漂移模型，其图像随温度漂移的漂移模型为：/n设源图像为f(x,y)，经过温度漂移过程h(x,y)后，获得漂移图像为g(x,y)，这一过程用以下方程表示/ng(x,y)＝f(x,y)*h(x,y) (1)/n其中，温度漂移过程h(x,y)＝h1(x,y)+h2(x,y)+h3(x,y)：/nh1(x,y)为温度漂移造成样品台装置移动而带来的图像漂移变量；/nh2(x,y)为温度漂移造成的扫描发生器中扫描基准电压漂移而带来的图像漂移变量；/nh3(x,y)为温度漂移造成的聚焦离子束或电子束的聚焦电压的改变，产生成像焦平面的变化而带来的图像漂移变量；/n第二步：通过对漂移模型处理，获得离子或电子扫描成像图像的校正模型，结合温度变化曲线，校正图像,其图像校正模型为：/nf`(x,y)＝g(x,y)/h(x,y) (2)/nf`(x,y)为校正后的图像，h(x,y)为漂移过程，g(x,y)为漂移图像；/n第三步：对该自适应校正办法进行评价：如果可以获得更高空间分辨的扫描图像，则采用对校正后的图像与更高空间分辨的偏差进行统计来评价方法；如果无法获得更高空间分辨的扫描图像，则直接对校正后的图像的灰度梯度进行计算表征清晰度来评价方法。/n