[发明专利]一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法

权利要求书

1.一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正办法，其特征在于，该自适应校正办法的步骤为：

第一步：采用一次离子束或电子束直接逐行扫描固体样品，产生的成像信号输入到计算机并被存储为漂移图像，建立样品台装置漂移、扫描发生器中扫描基准电压漂移、聚焦离子束或电子束聚焦电压漂移与离子或电子扫描成像漂移图像间的漂移模型，其图像随温度漂移的漂移模型为：

设源图像为f(x,y)，经过温度漂移过程h(x,y)后，获得漂移图像为g(x,y)，这一过程用以下方程表示

g(x,y)＝f(x,y)*h(x,y) (1)

其中，温度漂移过程h(x,y)＝h1(x,y)+h2(x,y)+h3(x,y)：

h1(x,y)为温度漂移造成样品台装置移动而带来的图像漂移变量；

h2(x,y)为温度漂移造成的扫描发生器中扫描基准电压漂移而带来的图像漂移变量；

h3(x,y)为温度漂移造成的聚焦离子束或电子束的聚焦电压的改变，产生成像焦平面的变化而带来的图像漂移变量；

第二步：通过对漂移模型处理，获得离子或电子扫描成像图像的校正模型，结合温度变化曲线，校正图像,其图像校正模型为：

f`(x,y)＝g(x,y)/h(x,y) (2)

f`(x,y)为校正后的图像，h(x,y)为漂移过程，g(x,y)为漂移图像；

第三步：对该自适应校正办法进行评价：如果可以获得更高空间分辨的扫描图像，则采用对校正后的图像与更高空间分辨的偏差进行统计来评价方法；如果无法获得更高空间分辨的扫描图像，则直接对校正后的图像的灰度梯度进行计算表征清晰度来评价方法。

2.根据权利要求1所述的离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正办法，所述的成像信号是二次离子信号、二次电子信号、背散射电子信号及阴极发光信号中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正办法，其特征在于，所述的温度漂移过程h(x,y)的获得包括：建立测温系统分别测量三部分的温度漂移，来获得温度曲线与h₁(x,y)，h₂(x,y)，h₃(x,y)的关系。

4.根据权利要求3所述的离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正办法，其特征在于，所述自适应校正办法的评价方法包括：如果获得更高空间分辨扫描图像f₀(x,y)来表征f(x,y)，则采用对校正后的图像f`(x,y)与表征的源图像f<sub>0</sub>(x,y)的偏差进行统计来评价方法：首先计算校正后的图像f`(x,y)与表征源图像f₀(x,y)灰度值的偏差，其次考虑到在获得源图像f(x,y)与表征源图像f₀(x,y)时离子束或电子束的差别造成的灰度偏差，在扫描获得f(x,y)与f₀(x,y)时都对离子流或电子束进行了监测,其偏差值公式为：

其中M，N为像素值，B₁与B₀分别为在扫描获得f(x,y)与表征源图像f₀(x,y)时的离子束或电子束流强度；RE(relative error)为两者灰度值的相对偏差，这个值越小说明评价越高；

如果无法获得更高空间分辨的离子扫描图像或电子扫描图像的来替代f(x,y),则直接对f`(x,y)的灰度梯度进行计算来表征清晰度来评价方法。