[发明专利]一种电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201711308939.4 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107903060B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 谢敏;宋希文;郜建全;安胜利;包金小;周芬;张永和;郭文荣 | 申请（专利权）人： | 内蒙古科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/50 | 分类号： | C04B35/50;C04B35/622 |
| 代理公司： | 11569 北京高沃律师事务所 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 014000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙;15 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材及其制备方法。本发明通过球磨再砂磨的方式实现原料粒径的纳米化，并且结合两次烧结方式，在初级烧结过程实现混合氧化物间不同氧化物的固相反应，得到锆酸镧基材料，经后续粉碎、成型以及水分和粘结剂的使用，确保颗粒间的间隙和距离，达到较低的密度，结合所述第二次烧结，实现陶瓷靶材内部水分和粘结剂的充分去除，并完成体积收缩，使体积达到稳定的尺寸，同时完成了体积致密化，得到具有一定体积密度且体积稳定性的烧绿石结构的锆酸镧基陶瓷靶材，在潮湿环境下经长时间放置仍能稳定保持稳定的尺寸，不发生粉化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 物理 沉积 用锆酸镧基 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材的制备方法，包括以下步骤：/n(1)将包含氧化锆和氧化镧的混合氧化物进行湿法球磨，得到球磨浆料；/n所述湿法球磨在分散剂的作用下进行；所述分散剂为聚甲基丙烯酸胺；/n(2)按照砂磨转速从低到高的顺序依次对所述步骤(1)得到的球磨浆料进行砂磨，得到砂磨浆料；/n(3)将所述步骤(2)得到的砂磨浆料进行干燥，得到混合氧化物粉体；/n(4)将所述步骤(3)得到的混合氧化物粉体压制后进行初级烧结，得到初级烧结体；/n所述初级烧结的温度为1380～1420℃；/n(5)将所述步骤(4)得到的初级烧结体进行粉碎造粒，得到球形颗粒粉料；/n(6)将所述步骤(5)得到的颗粒粉料进行成型处理，得到陶瓷靶坯；/n(7)将所述步骤(6)得到的陶瓷靶坯进行第二次烧结，得到电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材。/n
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