[发明专利]一种电磁式振动能量收集器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711292704.0 申请日: 2017-12-08
公开(公告)号: CN108059123B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 黄晓东;石晶晶;黄见秋;黄庆安 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: B81B3/00 分类号: B81B3/00;B81C1/00;H02K35/02
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 李明
地址: 214135 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种电磁式振动能量收集器及其制备方法,相互堆叠的第一衬底和第二衬底;所述第一衬底经刻蚀形成悬臂梁结构,其中,所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为悬臂梁结构;所述第二衬底的上表面形成有第二凹槽;所述第二凹槽中设置有永磁体;所述第一凹槽与所述第二凹槽相对堆叠且形成腔体;所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构,所述第二衬底的下表面设置有第二电磁拾振结构。通过本发明的制备方法制备的电磁式振动能量收集器具有较高的能量收集效率、输出功率和输出功率密度(W/cm2),还具有尺寸小、精度高、一致性好、易于批量制造、制造成本低以及易于小型化的优点。
搜索关键词: 一种 电磁式 振动 能量 收集 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种电磁式振动能量收集器,其特征在于,其包括:相互堆叠的第一衬底和第二衬底;所述第一衬底经刻蚀形成悬臂梁结构,其中,所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为悬臂梁结构;所述第二衬底的上表面形成有第二凹槽;所述第二凹槽中设置有永磁体;所述第一凹槽与所述第二凹槽相对堆叠且形成腔体;所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构,所述第二衬底的下表面设置有第二电磁拾振结构。
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