[发明专利]一种电磁式振动能量收集器及其制备方法

权利要求书

1.一种电磁式振动能量收集器，其特征在于，其包括：

相互堆叠的第一衬底和第二衬底；所述第一衬底经刻蚀形成悬臂梁结构，在所述悬臂梁结构末端设置有质量块；其中，所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为悬臂梁结构；所述第二衬底的上表面形成有第二凹槽；

所述第二凹槽中设置有永磁体；所述第一凹槽与所述第二凹槽相对堆叠且形成腔体；

所述悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构，所述第二衬底的下表面设置有第二电磁拾振结构；

所述第一电磁拾振结构包括设置在所述悬臂梁结构表面的第一电感线圈层；所述第二电磁拾振结构包括设置在所述第二衬底的下表面的第二电感线圈层。

2.根据权利要求1所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一电感线圈层与所述第一衬底之间、所述第二电感线圈层与所述第二衬底之间沉积有绝缘层。

3.根据权利要求1所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一凹槽、所述第二凹槽的表面沉积有绝缘层。

4.一种电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

选择第一衬底，刻蚀所述第一衬底的下表面，形成第一凹槽结构；

在所述第一衬底的上表面沉积形成第一绝缘层，再在所述第一衬底的上表面沉积并刻蚀形成第一电感线圈层；

刻蚀所述第一衬底的上表面，形成悬臂梁结构，在所述悬臂梁结构末端安装质量块；

选择第二衬底，刻蚀所述第二衬底的上表面，形成第二凹槽结构；

在所述第二衬底的上表面形成的所述第二凹槽结构内安装永磁体；

在所述第二衬底的下表面沉积形成第三绝缘层，再在所述第二衬底的下表面沉积并刻蚀形成第二电感线圈层；

将所述第一衬底的第一凹槽结构正对所述第二衬底的第二凹槽结构进行组装，制成所述电磁式振动能量收集器。

5.根据权利要求4所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在所述第一凹槽结构、所述第二凹槽结构表面沉积绝缘层。

6.根据权利要求4所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述组装包括键合工艺。