[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法在审
| 申请号: | 201711266191.6 | 申请日: | 2014-01-10 |
| 公开(公告)号: | CN107858643A | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
| 发明(设计)人: | 池永知加雄 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/56;C23C14/58;H01L51/56 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 丁香兰,庞东成 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法。本发明的目的是提供一种延伸差率小的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的延伸差率为10×10‑5以下。另外,金属板的宽度方向的端部的延伸差率为20×10‑5以下。此外,金属板的宽度方向的端部的延伸差率大于金属板的宽度方向的中央部分的延伸差率的最大值。 | ||
| 搜索关键词: | 金属板 制造 方法 使用 蒸镀掩模 | ||
【主权项】:
一种金属板的制造方法,该金属板通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模,其中,所述蒸镀掩模的所述贯通孔通过对所述金属板进行蚀刻而形成,所述金属板的制造方法具备下述工序:轧制工序,在该工序中,对母材进行轧制而得到所述金属板;和切断工序,在该工序中,以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的两端,所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状,该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同,将所述切断工序后的所述金属板的所述长度的最小值称为基准长度,将所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的各位置处的所述金属板的所述长度与所述基准长度之差相对于所述基准长度的比例称为延伸差率时,满足以下条件(1)~(3),(1)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的所述延伸差率为10×10‑5以下;(2)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的端部的所述延伸差率为20×10‑5以下;和(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值;所述中央部分包括所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部,其是占所述金属板的宽度的40%的部分。
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