[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

权利要求书

1.一种金属板的制造方法，该金属板通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模，其中，

所述蒸镀掩模的所述贯通孔通过对所述金属板进行蚀刻而形成，

所述金属板的制造方法具备下述工序：

轧制工序，在该工序中，对母材进行轧制而得到所述金属板；和

切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的两端，

所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同，

将所述切断工序后的所述金属板的所述长度的最小值称为基准长度，将所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的各位置处的所述金属板的所述长度与所述基准长度之差相对于所述基准长度的比例称为延伸差率时，满足以下条件(1)～(3)，

(1)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的所述延伸差率为10×10^-5以下；

(2)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的端部的所述延伸差率为20×10^-5以下；和

(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值；

所述中央部分包括所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部，其是占所述金属板的宽度的40％的部分。

2.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，该制造方法进一步具备退火工序，在该工序中，将通过所述轧制工序得到的所述金属板退火，以除去所述金属板的内部应力。

3.如权利要求2所述的金属板的制造方法，其中，一边在长度方向拉伸所述轧制后的母材，一边实施所述退火工序。

4.如权利要求2所述的金属板的制造方法，其中，在所述轧制后的母材卷取于芯材上的状态下实施所述退火工序。

5.如权利要求1～4任一项所述的金属板的制造方法，其中，所述母材的热膨胀系数与基板的热膨胀系数为同等的值，该基板上隔着由所述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

6.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，所述母材含有因瓦合金材料。

7.一种金属板，该金属板是通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板，其中，

所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同，

将所述金属板的所述长度的最小值称为基准长度，将所述金属板的宽度方向的各位置处的所述金属板的所述长度与所述基准长度之差相对于所述基准长度的比例称为延伸差率时，满足以下条件(1)～(3)，

(1)所述金属板的宽度方向的中央部分的所述延伸差率为10×10^-5以下；

(2)所述金属板的宽度方向的端部的所述延伸差率为20×10^-5以下；和

(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值；

所述中央部分包括所述金属板的宽度方向的中央部，其是占所述金属板的宽度的40％的部分。

8.如权利要求7所述的金属板，其中，所述金属板的热膨胀系数与基板的热膨胀系数为同等的值，所述基板上隔着由所述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

9.如权利要求7所述的金属板，其中，所述金属板含有因瓦合金材料。

10.一种蒸镀掩模的制造方法，所述方法包括：供给延伸成带状的长金属板的工序；将利用照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板，在长金属板上从第1面侧形成第1凹部的工序；和，将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板，在长金属板上从第2面侧形成第2凹部的工序，并且，形成于长金属板的第1凹部和第2凹部相互相通，从而在长金属板上制作出贯通孔，第2凹部的形成工序在第1凹部的形成工序之前实施，并且在第2凹部的形成工序与第1凹部的形成工序之间进一步设置有对所制作的第2凹部进行密封的工序。