[发明专利]焦平面阵列探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种焦平面阵列探测器，包括光敏衬底，覆盖在所述光敏衬底表面的金属单元阵列，所述光敏衬底表面金属单元阵列以外的区域设置有连为一体的填充胶，所述填充胶的高度大于所述金属单元阵列的高度。本发明的目的在于解决现有焦平面阵列探测器中焦平面阵列与读出电路上的铟凸点连接时容易错位，相邻像元容易短路而形成坏像元的技术问题以及当前焦平面阵列探测器的制备工艺下所制备的小像元焦平面面阵的量产良率低的技术问题。

主权项

1.一种焦平面阵列探测器，其特征在于，包括光敏衬底(1)，覆盖在所述光敏衬底(1)表面的金属单元阵列(2)，所述光敏衬底(1)表面金属单元阵列(2)以外的区域设置有连为一体的填充胶(4)，所述填充胶(4)的高度大于所述金属单元阵列(2)的高度。