[发明专利]一种制备染料敏化太阳能电池对电极碳薄膜的方法在审
| 申请号： | 201711234031.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107946080A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 羊新胜;张洁;刘其娅;赵婷;刘悦;赵可;赵勇 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | H01G9/20 | 分类号： | H01G9/20;H01G9/042 |
| 代理公司： | 成都博通专利事务所51208 | 代理人： | 陈树明 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种制备染料敏化太阳能电池对电极碳薄膜的方法，其步骤主要是a、将石英棒依次用丙酮、乙醇、去离子水超声清洗；b、将石英棒干燥，放在衬底上，安装99.99％的石墨靶材，靶材到石英棒为5‑7cm，将真空室抽真空至2×10‑4Pa，再通入99.995％的氩气，使真空室气压为0.45‑0.55Pa，衬底温度为380‑420℃；c、进行电流为0.2‑0.4A、时间为0.5h‑1.0h的溅射；d、将石英棒封入气压＜1×10‑2Pa的真空石英管中，置于管式炉进行氩气保护的后退火处理，其参数为以2℃/min升至750‑850℃，保温0.5‑1h；炉冷。该法制备的碳薄膜为晶化结构，均匀性好，无褶皱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 染料 太阳能电池 电极 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备染料敏化太阳能电池对电极碳薄膜的方法，其步骤是:a、基体清洗：将作为基体的石英棒基体依次在丙酮、乙醇、去离子水中进行10‑20分钟的超声清洗；b、溅射准备：将石英棒用热氮气干燥后，放在磁控溅射设备的衬底上，在磁控溅射设备的溅射靶上安装纯度为99.99％的石墨靶材，调整靶材到石英棒的距离为5‑7厘米，将真空室抽真空至气压小于2×10‑4Pa，再通入纯度为99.995％的氩气，使真空室气压为0.45‑0.55Pa，调整衬底温度为380‑420℃；c、磁控溅射：进行溅射直流电流为0.2‑0.4A、时间为0.5h‑1.0h的溅射；d、后退火处理：将c步处理后的石英棒封入气压小于1×10‑2Pa的真空石英管中，置于管式炉中进行氩气保护气氛下的后退火处理，后退火处理时的参数为：以2℃/min升至750‑850℃，再保温0.5‑1h；然后炉冷，即得。
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