[发明专利]一种制备染料敏化太阳能电池对电极碳薄膜的方法

权利要求书

1.一种制备染料敏化太阳能电池对电极碳薄膜的方法，其步骤是:

a、基体清洗：将作为基体的石英棒基体依次在丙酮、乙醇、去离子水中进行10-20分钟的超声清洗；

b、溅射准备：将石英棒用热氮气干燥后，放在磁控溅射设备的衬底上，在磁控溅射设备的溅射靶上安装纯度为99.99％的石墨靶材，调整靶材到石英棒的距离为5-7厘米，将真空室抽真空至气压小于2×10^-4Pa，再通入纯度为99.995％的氩气，使真空室气压为0.45-0.55Pa，调整衬底温度为380-420℃；

c、磁控溅射：进行溅射直流电流为0.2-0.4A、时间为0.5h-1.0h的溅射；

d、后退火处理：将c步处理后的石英棒封入气压小于1×10^-2Pa的真空石英管中，置于管式炉中进行氩气保护气氛下的后退火处理，后退火处理时的参数为：以2℃/min升至750-850℃，再保温0.5-1h；然后炉冷，即得。