[发明专利]一种制备氧化镍薄膜的低温快速液相方法

摘要

本发明属于材料、化学及化工领域，特别涉及一种快速制备氧化镍薄膜的低温溶液方法。包括如下步骤：称取乙酸镍，量取溶剂，配置浓度为0.01‑0.5摩尔/升的氧化镍前驱体溶液，经过0.1‑3小时的磁力搅拌和超声分散形成澄清透明的氧化镍前驱体溶液；将氧化镍前驱体溶液涂覆到清洗好的衬底上形成氧化镍前驱体薄膜，经过1‑4.9分钟的光波退火，光波退火过程中的温度为100‑300℃；涂覆和退火可重复多次以得到不同厚度要求的氧化镍薄膜。本发明所得氧化镍薄膜性能高，有望在晶体管、太阳能电池、传感器等器件中得到应用。通过本发明的工艺可以避免通常的工艺周期长或昂贵设备等，成本低，适合工业化大规模生产。

主权项

1.一种制备氧化镍薄膜的低温快速液相方法，其特征在于包括如下步骤：(1) 配置氧化镍前驱体溶液：称取可溶性的镍盐，量取溶剂，配置浓度为0.01-0.5摩尔/升的氧化镍前驱体溶液，经过0.1-3小时的磁力搅拌和超声分散形成澄清透明的氧化镍前驱体溶液；(2) 沉积氧化镍薄膜：将氧化镍前驱体溶液涂覆到清洗好的衬底上形成氧化镍前驱体薄膜，经过0.5-4.9分钟的光波退火，光波退火过程中的温度为100-300 ℃；(3) 步骤1和2可重复多次以得到不同厚度要求的氧化镍薄膜。