[发明专利]离子源有效

专利信息
申请号: 201711224060.1 申请日: 2017-11-29
公开(公告)号: CN108735564B 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 甲斐裕章;西村一平 申请(专利权)人: 日新离子机器株式会社
主分类号: H01J37/08 分类号: H01J37/08;H01J27/02
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 周善来;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种定位销及离子源,所述定位销的固定结构得到了简化。所述定位销(P)用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装,在定位销(P)的长边方向的两个端部中,在第一端部(11)形成有螺丝(S),与第一端部(11)相反侧的第二端部(12)为锥形。
搜索关键词: 离子源
【主权项】:
1.一种定位销,其用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装,所述定位销的特征在于,在定位销的长边方向的两个端部中,在第一端部形成有螺丝,与所述第一端部相反侧的第二端部为锥形。
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