[发明专利]离子源

说明书

本发明提供一种定位销及离子源，所述定位销的固定结构得到了简化。所述定位销(P)用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装，在定位销(P)的长边方向的两个端部中，在第一端部(11)形成有螺丝(S)，与第一端部(11)相反侧的第二端部(12)为锥形。

技术领域

本发明涉及用于离子源的引出电极系统的定位的定位销和利用被该定位销定位了的引出电极系统进行离子束的引出的离子源。

背景技术

在由多个电极构成的离子束的引出电极系统中形成有用于引出离子束的开口。在组装离子源时，使用定位用的销(定位销)，以使电极位置的安装位置成为适当的位置。

在专利文献1中，作为定位销的例子，公开了圆筒状对准绝缘体。该圆筒状对准绝缘体通过插入形成在用于引出离子束发生器的离子束的三个取出电极组件的端部的贯通孔，由此对各取出组件进行定位。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2011-129270号

在圆筒状对准绝缘体的长边方向的各端部设有环状构件。通过该环状构件和插入绝缘体的内部的金属固定螺丝来固定圆筒状对准绝缘体。

具体来说，插入圆筒状对准绝缘体的金属固定螺丝的前端螺合于形成在一方的环状构件上的螺孔，金属固定螺丝的头部将圆筒状对准绝缘体向另一方的环状构件推压。由此，固定圆筒状对准绝缘体。

在所述结构的定位销的固定中，需要环状构件和金属固定螺丝，因此结构复杂，构件多，成本也相应地增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种固定的结构得到了简化的定位销。

本发明的定位销，其用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装，在定位销的长边方向的两个端部中，在第一端部形成有螺丝(螺子)，与所述第一端部相反侧的第二端部为锥形。

按照所述结构的定位销，由于在定位销自身形成有螺丝，因此无需使用其它的构件就能够进行定位销的固定，因此结构变得简单。

此外，由于第二端部为锥形，因此该端部向定位构件的插入变得简单，能够提高定位时的操作效率。

为了使定位销的装拆操作变得简单，优选的是，在所述第二端部的前端形成有进行定位销的松紧的槽。

如果具有所述槽，则能够从第二端部侧进行定位销的松紧。

在定位电位不同的构件的情况下，优选的是，所述第二端部被绝缘性的帽覆盖，所述帽具有凹凸状的台阶部。

按照该结构，即使定位销是导电性的定位销，由于第二端部被绝缘性的帽覆盖，因此也能够在电位不同的构件间使用定位销。

此外，由于在帽的外表面形成有凹凸状的台阶部，因此能够加长电位不同的构件间的爬电距离。

作为具体的离子源结构，其使用具有定位销的引出电极系统，进行离子束的引出，所述定位销，用于构成所述离子源的引出电极系统的电极的安装，在所述定位销的长边方向的两个端部中，在第一端部形成有螺丝，与所述第一端部相反侧的第二端部为锥形，所述离子源包括：第一电极框体，安装有所述定位销；以及第二电极，与所述电极框体相对，在所述电极上形成有贯通孔，所述定位销的所述第二端部配置在所述贯通孔内。

如果考虑定位精度，则优选的是，所述第一构件是外形为大致长方形的构件，所述定位销安装在所述第一构件的长边方向的端部。

由于在定位销自身形成有螺丝，因此不使用其它构件就能够固定定位销，结构变得简单。

此外，由于第二端部为锥形，因此将该端部插入定位的构件变得简单，定位时的操作效率提高。

附图说明