[发明专利]沉积环固定组件、承载装置及反应腔室有效
| 申请号： | 201711215971.8 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109837518B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李冰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种沉积环固定组件，包括支撑柱、固定板、限位件以及弹性件，其中：支撑柱，第一端用于与所述沉积环连接；固定板，固定设置且所述固定板上开设有安装孔，所述支撑柱的第二端贯穿所述安装孔；限位件，设置在所述支撑柱上；弹性件，被限制在在所述限位件和所述固定板之间，且在其弹力作用下所述支撑柱能在所述安装孔内下降，以向所述沉积环施加压紧力来固定沉积环。本发明还提供一种承载装置和反应腔室。本发明大大提高沉积环固定组件、承载装置和反应腔室使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 固定 组件 承载 装置 反应 | ||
【主权项】：
1.一种沉积环固定组件，其特征在于，包括支撑柱、固定板、限位件以及弹性件，其中：支撑柱，所述支撑柱的第一端用于与沉积环连接；固定板，固定设置且所述固定板上开设有安装孔，所述支撑柱的第二端贯穿所述安装孔；限位件，设置在所述支撑柱上；弹性件，被限制在所述限位件和所述固定板之间，且在其弹力作用下所述支撑柱能在所述安装孔内下降，以向所述沉积环施加压紧力来固定沉积环。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711215971.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
