[发明专利]导电粒子压痕检测设备及其检测方法有效
| 申请号： | 201711211455.8 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108037124B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 郑嘉瑞 | 申请（专利权）人： | 深圳市联得自动化装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘雯 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种导电粒子压痕检测设备及其检测方法，该导电粒子压痕检测设备包括工作台、安装在所述工作台上的Y轴模块、安装在所述Y轴模块的Z轴模块、安装在所述Z轴模块上的旋转模块、安装在所述旋转模块的载台、安装在所述工作台上的X轴模块、以及连接所述X轴模块的光学测试模块；所述载台上设有检测工位，所述光学测试模块上具有检测头，所述检测头与所述检测工位对应。上述导电粒子压痕检测设备通过调节载台实现产品与检测头对焦，对焦工作调节灵活，不受空间限制，从而可精确地检测到导电粒子的压痕的状态、数目及分布，以确定导电性的状况，确保导电粒子的压痕检测结果精准。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 粒子 压痕 检测 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种导电粒子压痕检测设备，其特征在于，包括工作台、安装在所述工作台上的Y轴模块、安装在所述Y轴模块的Z轴模块、安装在所述Z轴模块上的旋转模块、安装在所述旋转模块的载台、安装在所述工作台上的X轴模块、以及连接所述X轴模块的光学测试模块；所述载台上设有检测工位，所述光学测试模块上具有检测头，所述检测头与所述检测工位对应。
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