[发明专利]导电粒子压痕检测设备及其检测方法

权利要求书

1.一种导电粒子压痕检测设备，其特征在于，包括工作台、安装在所述工作台上的Y轴模块、安装在所述Y轴模块的Z轴模块、安装在所述Z轴模块上的旋转模块、安装在所述旋转模块的载台、安装在所述工作台上的X轴模块、以及连接所述X轴模块的光学测试模块；所述载台上设有检测工位，所述光学测试模块上具有检测头，所述检测头与所述检测工位对应；所述Z轴模块包括滑设于所述Y轴模块上的移动台、连接所述移动台的水平驱动组件、以及对应滑设在所述移动台上的滑动件；所述移动台朝向所述滑动件的一侧具有倾斜部，所述滑动件朝向所述移动台的具有倾斜导轨，所述倾斜导轨与所述倾斜部匹配滑设；所述水平驱动组件驱使所述移动台沿水平方向移动推动滑动件进行升降运动，所述滑动件与所述旋转模块连接；所述Z轴模块还包括安装在所述Y轴模块上的座体，所述座体上设有一腔体，所述腔体朝向所述旋转模块的一侧敞口，所述移动台容置在所述腔体内。

2.根据权利要求1所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述座体靠近所述水平驱动组件的一侧设有通孔，所述通孔供所述水平驱动组件的输出轴穿设。

3.根据权利要求2所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述滑动件朝向所述水平驱动组件的一侧具有侧板，所述侧板上设有穿孔，所述水平驱动组件的输出轴通过穿设所述通孔及所述穿孔与所述移动台连接。

4.根据权利要求1所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述载台对应检测工位的边侧设置有调节板。

5.根据权利要求4所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述检测工位的数量为两个，两个所述检测工位相对间隔设置。

6.根据权利要求1所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：还包括安装在所述工作台上的真空模块，所述真空模块包括真空产生器、连接真空产生器的电磁阀、以及连接所述电磁阀的真空吸嘴；所述真空吸嘴位于所述检测工位朝向所述旋转模块的一侧；所述检测工位上设有若干吸孔，所述真空吸嘴通过所述吸孔吸附产品。

7.根据权利要求6所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述真空模块还包括真空过滤器、连接所述电磁阀的真空表、连接所述电磁阀的盒体、以及安装在盒体上的若干转接管；所述真空过滤器连接在所述真空产生器与所述电磁阀之间；所述转接管与真空吸嘴连接。

8.根据权利要求1所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述旋转模块的周侧安装有接近开关，所述载台朝向所述旋转模块的一侧设置有检测杆，所述检测杆与所述接近开关的位置对应。

9.根据权利要求1所述的导电粒子压痕检测设备，其特征在于：所述旋转模块包括装在所述Z轴模块上的固定件、安装在所述固定件上的旋转驱动组件、安装在所述旋转驱动组件上的支撑板，所述载台固定安装在所述支撑板上。

10.一种导电粒子压痕检测设备的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

a.提供一种导电粒子压痕检测设备，包括工作台、安装在所述工作台上的Y轴模块、安装在所述Y轴模块上的Z轴模块、安装在所述Z轴模块上的旋转模块、安装在所述旋转模块上的载台、安装在所述工作台上的X轴模块、以及连接所述X轴模块的光学测试模块，所述载台上设有检测工位，所述光学测试模块上具有检测头；所述Z轴模块包括滑设于所述Y轴模块上的移动台、连接所述移动台的水平驱动组件、以及对应滑设在所述移动台上的滑动件；所述移动台朝向所述滑动件的一侧具有倾斜部，所述滑动件朝向所述移动台的具有倾斜导轨，所述倾斜导轨与所述倾斜部匹配滑设；所述水平驱动组件驱使所述移动台沿水平方向移动推动滑动件进行升降运动，所述滑动件与所述旋转模块连接；

b.将产品放置在所述检测工位上，且产品的检测部位延伸出所述载台；

c.启动所述Y轴模块，所述Y轴模块调节所述载台在所述Y轴方向上的位置，使所述检测工位位于所述光学测试模块的上方；

d.启动所述旋转模块、Z轴模块、X轴模块及光学测试模块，所述旋转模块对所述载台进行旋转调节，所述Z轴模块调节所述载台在Z轴方向的位置，使产品的检测部位与所述检测头进行对焦；同时，所述X轴模块驱使所述光学测试模块沿X轴方向运动，所述检测头对产品的检测部位进行检测；

e.当产品的一侧检测完毕后，所述旋转模块对所述载台进行90°的旋转运动，使产品的另一侧的检测部位与所述检测头对应；重复d步骤对产品的另一侧进行检测。