[发明专利]一种气体分配器孔径检验工装在审
| 申请号： | 201711204105.9 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107966088A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 游利;翟子健 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/12 | 分类号： | G01B5/12;G01B5/00;C23C16/455 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体分配器孔径检验工装，包括定位底板，以及连接在定位底板上的检验上板；所述的定位底板中间部位设置有开口；所述的检验上板上设置有若干个用于放置气体分配器的通孔；所述的开口的面积大于通孔的面积；通过定位底板连接检测设备，进一步将检验上板通过定位销定位在定位底板，再通过螺栓连接紧固，进一步在通孔上安装气体分配器，进行检测，不但保证了检测的精度，而且能够多个气体分配器同时进行检测，操作方便，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 分配器 孔径 检验 工装 | ||
【主权项】：
一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：包括定位底板（1），以及连接在定位底板（1）上的检验上板（2）；所述的定位底板（1）中间部位设置有开口（3）；所述的检验上板（2）上设置有若干个用于放置气体分配器（101）的通孔（4）；所述的开口（3）的面积大于通孔（4）的面积。
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