[发明专利]一种气体分配器孔径检验工装在审
| 申请号： | 201711204105.9 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107966088A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 游利;翟子健 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/12 | 分类号： | G01B5/12;G01B5/00;C23C16/455 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 分配器 孔径 检验 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：包括定位底板（1），以及连接在定位底板（1）上的检验上板（2）；所述的定位底板（1）中间部位设置有开口（3）；所述的检验上板（2）上设置有若干个用于放置气体分配器（101）的通孔（4）；所述的开口（3）的面积大于通孔（4）的面积。
2.根据权利要求1所述的一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：所述的定位底板（1）为四边形结构，通过螺栓连接在检测设备上。
3.根据权利要求1所述的一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：所述的检验上板（2）与定位底板（1）的外形相同。
4.根据权利要求1所述的一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：所述的定位底板（1）和检验上板（2）之间通过第一定位销（5）定位，螺栓连接。
5.根据权利要求1所述的一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：所述的通孔（4）数量为9个。
6.根据权利要求1所述的一种气体分配器孔径检验工装，其特征是：所述的气体分配器（101）与通孔（4）配合，并由第二定位销（6）定位在检验上板（2）上。
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