[发明专利]一种侦测物理气相沉积工艺腔体内晶圆碎片的装置有效
| 申请号： | 201711174990.0 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107976453B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;柳小敏;陈伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 严罗一 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种侦测物理气相沉积工艺腔体内晶圆碎片的装置，包括可升降的托架，所述托架包括：托架柱，垂直的设置，所述托架柱的顶部设置有用以承托晶圆的承托部，以及所述托架柱设置有轴向通孔；托环，水平设置，并连接所述托架柱底部；升降装置，连接所述托环，用以控制所述托环连同所述升降装置升降；分光镜，倾斜的设置于对应的所述托架柱底部；与所述分光镜对应的光源，用以通过所述分光镜向所述托架柱的通孔中射入光线；与所述分光镜对应的接收器。当晶圆发生破片时，因晶圆无法被托架柱顶起来，从而导致接收器无法接收到反射光相应的光强。通过晶圆反射回来的光感强度进而确认晶圆是否破片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 侦测 物理 沉积 工艺 体内 碎片 装置 | ||
【主权项】：
一种侦测物理气相沉积工艺腔体内晶圆碎片的装置，包括可升降的托架，其特征在于：所述托架包括：复数条托架柱，垂直的设置，所述托架柱的顶部设置有用以承托晶圆的承托部，以及所述托架柱设置有轴向通孔；一托环，水平设置，并连接所述托架柱底部；一升降装置，连接所述托环，用以控制所述托环连同所述升降装置升降；至少一个分光镜，倾斜的设置于对应的所述托架柱底部；与所述分光镜对应的光源，用以通过所述分光镜向所述托架柱的通孔中射入光线；与所述分光镜对应的接收器，用已接收所述光源射出并经由所述托架柱承托的所述晶圆反射后由所述分光镜二次反射的所述光线。
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