[发明专利]一种负性光刻胶刻蚀装置

摘要

本发明公开了一种负性光刻胶刻蚀装置，包括传送带、第一盛放箱、烘干箱、光刻箱和第二盛放箱，所述传送带上方左侧安装有所述烘干箱，所述烘干箱下方左右两边均与所述第二支座固定连接，所述烘干箱内安装有所述电加热箱，所述电加热箱两侧与所述温度传感器固定连接，所述电加热箱下方中心位置与所述出气口固定连接，所述烘干箱右侧安装有所述光刻箱，所述光刻箱内上方右侧与所述第一气缸固定连接，所述第一气缸内与所述第一气动活塞一端滑动连接，所述第一气动活塞另一端与所述第一挡块固定连接，所述第一气缸左侧设有曝光机，所述曝光机与所述光刻箱底部固定连接；本发明实现了负性光刻胶的刻蚀。

主权项

一种负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，包括传送带、第一盛放箱、烘干箱、光刻箱和第二盛放箱，所述传送带上方左侧安装有烘干箱，所述烘干箱下方左右两边均与第二支座固定连接，所述烘干箱内安装有电加热箱，所述电加热箱两侧与温度传感器固定连接，所述电加热箱下方中心位置与出气口固定连接，所述烘干箱右侧安装有光刻箱，所述光刻箱内上方右侧与第一气缸固定连接，所述第一气缸内与第一气动活塞一端滑动连接，所述第一气动活塞另一端与第一挡块固定连接，所述第一气缸左侧设有曝光机，所述曝光机与光刻箱底部固定连接，所述光刻箱上方左侧与第二气缸固定连接，所述第二气缸与第二气动活塞一端滑动连接，所述第二气动活塞另一端与第二挡块固定连接，所述光刻箱上方右侧安装有曝光控制器，所述曝光机与曝光控制器电性连接。