[发明专利]一种负性光刻胶刻蚀装置

权利要求书

1.一种负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，包括传送带、第一盛放箱、烘干箱、光刻箱和第二盛放箱，所述传送带上方左侧安装有烘干箱，所述烘干箱下方左右两边均与第二支座固定连接，所述烘干箱内安装有电加热箱，所述电加热箱两侧与温度传感器固定连接，所述电加热箱下方中心位置与出气口固定连接，所述烘干箱右侧安装有光刻箱，所述光刻箱内上方右侧与第一气缸固定连接，所述第一气缸内与第一气动活塞一端滑动连接，所述第一气动活塞另一端与第一挡块固定连接，所述第一气缸左侧设有曝光机，所述曝光机与光刻箱底部固定连接，所述光刻箱上方左侧与第二气缸固定连接，所述第二气缸与第二气动活塞一端滑动连接，所述第二气动活塞另一端与第二挡块固定连接，所述光刻箱上方右侧安装有曝光控制器，所述曝光机与曝光控制器电性连接。

2.根据权利要求1所述的负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，所述第一盛放箱下方与左侧支腿固定连接，所述第一盛放箱下方左侧设有滑块，所述滑块与连杆一端固定连接，所述连杆另一端与曲柄固定连接，所述曲柄与第二电机固定连接，所述第二电机下方与第一支座固定连接，所述第一支座下方与底板固定连接，所述底板一端与左侧支腿固定连接。

3.根据权利要求1所述的负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，所述传送带左侧与主动轮滑动连接，所述主动轮与小带轮固定连接，所述小带轮通过皮带与大带轮固定连接，所述大带轮与第一电机固定连接，所述第一电机与左侧支腿固定连接，所述传送带右端与从动轮滑动连接，所述从动轮与右侧支腿滑动连接。

4.根据权利要求3所述的负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，所述右侧支腿右边设有第二盛放箱，所述第二盛放箱内设有缓冲板，所述缓冲板下方与缓冲弹簧一端固定连接，所述缓冲弹簧另一端与第一盛料箱底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，所述第一盛放箱上方设有进料口。

6.根据权利要求1所述的负性光刻胶刻蚀装置，其特征在于，所述烘干箱上方安装有气泵，所述电加热箱内安装有电加热块。