[发明专利]一种可见‑红外超宽带反射薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了本发明目的在于提供一种可见‑红外超宽带反射薄膜的制备方法，为了在可见‑红外光学波段同时获得极高的反射率，针对金属膜与介质膜特性的不同，设计了一种可见‑红外光学反射膜系。本发明通过下述技术方案实现一种可见‑红外超宽带反射薄膜的制备方法，包括利用金属膜提供红外波段的反射率，通过膜系结构的优化改善金属薄膜牢固度低，化学稳定性弱的缺点。利用介质材料提高可见波段的反射率，通过制备工艺的优化，使介质‑金属结构的薄膜具有良好的稳定性。针对Si基板与金属膜热膨胀系数不同，结合牢固度低的特性，设置中间过渡膜层，提高Si基板与薄膜结合强度。

主权项

一种可见‑红外超宽带反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1：抛光后的Si基板用去离子水加洗涤剂擦洗并用去离子水冲洗干净,然后在醋酸溶液侵泡15分钟，取出后再次用去离子水冲洗；在用乙醇乙醚混合液擦拭；S2：在Si基板上镀制反射可见‑红外波段的介质‑金属结构光学薄膜；S3：镀膜本底真空抽至8×10‑4以下，过渡层薄膜温度为120摄氏度，金属层采用冷镀方式，介质薄膜层采用高温镀膜；S4：镀膜工艺采用的过渡层才采用电子束蒸发，离子束辅助方式；金属膜层采用电阻蒸发方式；介质膜层采用电子束蒸发，离子束辅助方式。