[发明专利]一种随机散射光反馈的InP基单片集成混沌半导体激光器芯片有效

专利信息
申请号: 201711140218.7 申请日: 2017-11-16
公开(公告)号: CN107658694B 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 张明江;张建忠;牛亚楠;刘毅;赵彤;乔丽君;王安帮;王云才 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: H01S5/125 分类号: H01S5/125;H01S5/323
代理公司: 14100 太原科卫专利事务所(普通合伙) 代理人: 朱源;曹一杰
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及集成混沌半导体激光器,具体是一种随机散射光反馈的InP基单片集成混沌半导体激光器芯片。本发明有效解决了现有混沌激光源体积大、混沌信号带有时延特征、带宽窄以及光与光波导的耦合效率低的问题。随机散射光反馈的InP基单片集成混沌半导体激光器芯片由:左分布式反馈半导体激光器,双向放大的半导体光放大器,左无源光波导部分,掺杂无源光波导部分,右无源光波导部分,右分布式反馈半导体激光器六部分组成。具体包括:N
搜索关键词: 一种 随机 散射 反馈 inp 单片 集成 混沌 半导体激光器 芯片
【主权项】:
1.一种随机散射光反馈的InP基单片集成混沌半导体激光器芯片,其特征在于,包括如下结构:/n一N型衬底(8);/n一InGaAsP下限制层(9),外延生长在N型衬底(8)上;/n一无掺杂InGaAsP多量子阱有源区层(10),外延生长在InGaAsP下限制层(9)上;/n一InGaAsP上限制层(13),外延生长在无掺杂InGaAsP多量子阱有源区层(10)上;/n一P型重掺杂的InP盖层(14),为脊型,外延生长在InGaAsP上限制层(13)中间;/n一P型重掺杂InGaAs接触层(15),在P型重掺杂的InP盖层(14)上;/n一P
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