[发明专利]一种有机薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置

摘要

本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置，其中，有机薄膜晶体管阵列基板及其制备方法包括提供基板；在所述基板上依次沉积第一金属层、透明电极层以及光阻层；利用第一半透光罩进行图案化处理，以形成数据线、源极、漏极以及像素电极，其中所述源极和所述漏极之间形成有沟道区；依次沉积半导体层、绝缘层以及第二金属层；利用第二光罩进行图案化处理，以在所述沟道区上形成半导体层、栅极绝缘层、栅极，所述栅极连接有扫描线；沉积钝化层；利用第三光罩进行图案化处理，以裸露所述像素电极；在所述像素电极上形成OLED材料。通过上述方式，能够有效减少光罩制程，降低成本。

主权项

一种有机薄膜晶体管阵列基板的制备方法，其特征在于，包括：提供基板；在所述基板上依次沉积第一金属层、透明电极层以及光阻层；利用第一半透光罩进行图案化处理，以形成数据线、源极、漏极以及像素电极，其中所述源极和所述漏极之间形成有沟道区；依次沉积半导体层、绝缘层以及第二金属层；利用第二光罩进行图案化处理，以在所述沟道区上形成有源层、栅极绝缘层、栅极，所述栅极连接有扫描线；沉积钝化层；利用第三光罩进行图案化处理，以裸露所述像素电极。