[发明专利]砷化镓多晶合成装置有效
| 申请号： | 201711088557.5 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107881558B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘留;罗小龙 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种砷化镓多晶合成装置，包括一石英管，所述冷却装置还包括内置于石英管内的一石英帽、一进气管，进气管的一端伸入石英管内且与石英帽的半球形封闭面相对设置。本合成装置通过增加进气管由现有技术的自然降温变为局部冷却，降温更有针对性，使得砷蒸汽就会凝华为砷颗粒沉积在石英帽内而非石英管上，可以有效保护石英管、PBN桥和PBN，对石英管的二次利用造成的影响小。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓 多晶 合成 装置 | ||
【主权项】：
一种砷化镓多晶合成装置，包括一石英管，其特征在于：所述冷却装置还包括内置于石英管内的一石英帽、一进气管，所述进气管的一端伸入石英管内且与石英帽的半球形封闭面相对设置。
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