[发明专利]涂布装置有效
申请号: | 201711083920.4 | 申请日: | 2014-07-18 |
公开(公告)号: | CN107774501B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 吴俊欣 | 申请(专利权)人: | 万润科技股份有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10;B05C13/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐伟 |
地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明有关于涂布方法及装置,包括:一主机台,其上设置一第一龙门,该第一龙门的一第一悬臂呈Y轴向,该第一悬臂上设有一第一操作装置,该第一操作装置包括一第一涂布头,该第一涂布头在一操作区间中涂布黏性材料在一载盘所盛载的基板上;该第一操作装置设于一第一工作头上,该第一工作头设于该第一悬臂上,该第一工作头可作X轴向位移;藉以可有效率地使载盘上基板进行黏性材料涂布。 | ||
搜索关键词: | 装置 | ||
【主权项】:
一种涂布装置,包括:一主机台,其上设置一第一龙门,该第一龙门的一第一悬臂呈Y轴向,该第一悬臂上设有一第一操作装置,该第一操作装置包括一第一涂布头,该第一涂布头在一操作区间中涂布第一种黏性材料在一载盘所盛载的基板上;该第一操作装置设于一第一工作头上,该第一工作头设于该第一悬臂上,该第一工作头可作X轴向位移。
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