[发明专利]一种判断挡板走位精度的掩膜版及其方法

摘要

本发明提供了一种判断挡板走位精度的掩膜版，包括主曝光区、设置于主曝光区相对的两侧的第一曝光区、第二曝光区、第一曝光区包括第一标尺，第一标尺包括第一尺身、第一分界线、第一刻度，分布在第一分界线两侧的第一刻度分别设置于第一尺身的两侧，第二曝光区包括第二标尺，第二标尺包括第二尺身、第二分界线、第二刻度，分布在第二分界线两侧的第二刻度分别设置于第二尺身的两侧，第一分界线与第二分界线与主曝光区相对的两个边缘重合，第一尺身和第二尺身共线，位于主曝光区的第一刻度与第二刻度位于第一尺身和第二尺身所在直线的同侧。利用本发明提供的掩膜版，通过反映曝光在基板上的图案来判断挡板走位是否正常，以便于及时调整挡板的位置。

主权项

一种判断挡板走位精度的掩膜版，其特征在于，包括主曝光区、设置于所述主曝光区相对的两侧的第一曝光区、第二曝光区、所述第一曝光区包括第一标尺，所述第一标尺包括第一尺身、第一分界线、第一刻度，分布在所述第一分界线两侧的所述第一刻度分别设置于所述第一尺身的两侧，所述第二曝光区包括第二标尺，所述第二标尺包括第二尺身、第二分界线、第二刻度，分布在所述第二分界线两侧的所述第二刻度分别设置于所述第二尺身的两侧，所述第一分界线与所述第二分界线与所述主曝光区相对的两个边缘重合，所述第一尺身和所述第二尺身共线，位于所述主曝光区的所述第一刻度与所述第二刻度位于所述第一尺身和所述第二尺身所在直线的同侧。