[发明专利]一种高速高精旋转升降联动机构有效
申请号: | 201711078934.7 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN107991595B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 吴涛;娄玉仙 | 申请(专利权)人: | 广州高谱技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 张泽思;周增元 |
地址: | 510000 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种高速高精旋转升降联动机构,包括下升降机构与上旋转机构,所述下升降机构包括升降驱动装置、丝杆、丝杆座,所述升降驱动装置驱动所述丝杆带动所述丝杆座升降;所述上旋转机构包括旋转轴承、与所述丝杆座固定连接的旋转轴承座、设置于所述旋转轴承座与所述基座之间的至少一个垂直滑轨机构,所述旋转轴承连接有旋转大同步轮,所述旋转大同步轮由旋转驱动装置驱动。本发明采用升降轴在下方,旋转在上方的结构形式,充分利用了晶圆检测工艺中升降为主动作,旋转为辅动作的工艺特点;本发明还利用倒置驱动的丝杆螺母方法,轴向精度控制面取决于配对使用的轴向滑轨,易于实现大尺寸晶圆的平面度控制,有效地改善了整体系统的控制特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 高速 旋转 升降 联动 机构 | ||
【主权项】:
一种高速高精旋转升降联动机构,其特征在于,包括升降机构与旋转机构,所述升降机构包括设置于基座的升降驱动装置、垂直设置的丝杆、丝杆座,所述升降驱动装置驱动所述丝杆带动所述丝杆座升降;所述旋转机构包括旋转轴承、与所述丝杆座固定连接的旋转轴承座、设置于所述旋转轴承座与所述基座之间的至少一个垂直的滑轨机构,所述旋转轴承连接有旋转大同步轮,所述旋转大同步轮由旋转驱动装置驱动。
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