[发明专利]镀膜机及镀膜方法

摘要

本发明提供了一种镀膜机及镀膜方法，可以降低使用镀膜机生产TFT液晶显示屏时的破片率，提高了TFT液晶显示屏加工良率。

主权项

1.一种镀膜机的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对镀膜机的腔体进行抽真空；所述的镀膜机包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体(1)设有出气管(11)和第一真空管(12)，所述的M15腔体(2)设有进气管(21)和第二真空管(22)，所述的出气管(11)、进气管(21)的端部分别与大气连通，在出气管、进气管的管体上分别设有至少一个真空阀(111)，在所述的第一真空管(12)、第二真空管(22)上分别设有机械泵(31)、罗芡泵(32)和蝶阀(121)；在M1腔体(1)设有与出气管(11)相连接的出气孔(112)，在所述的出气孔(112)上设有第一过滤网(7)，在所述的第一过滤网(7)与所述的出气孔(112)之间还设有挡板(6)；在所述的M2、M3…M13、M14腔体的上方设有横向的主真空管(3)，在所述的主真空管(3)的两端分别设有机械泵(31)和罗芡泵(32)，所述的M2、M3…M13、M14腔体分别通过至少一个直管(4)与所述的主真空管(3)连通，在每个直管(4)上均设有分子泵(41)和真空阀(111)；在所述的M1、M15腔体的两侧、M2与M3腔体之间及M13与M14腔体之间分别设有门阀(5)；对所述的M1腔体进行抽真空，控制抽气时间大于3分钟；S2、将M1与M2、M2与M3、M13与M14、M14与M15之间门阀的开门速度调整为最慢；S3、打开M2、M3、M13、M14腔体对应连接的直管上的一个分子泵；打开M4、M6、M8、M9腔体对应连接的直管上的两个分子泵；S4、给M2至M14腔体中充入Ar气；S5、将M12腔体中的温度设置为0°，剩余腔体的温度设置为60°。