[发明专利]镀膜机及镀膜方法

说明书

本发明提供了一种镀膜机及镀膜方法，可以降低使用镀膜机生产TFT液晶显示屏时的破片率，提高了TFT液晶显示屏加工良率。

技术领域

本发明涉及液晶显示屏加工技术领域，尤其涉及一种镀膜机及镀膜方法。

背景技术

真空镀膜机用于给液晶显示屏镀膜，在镀膜机内设有多个依次相连的腔体及与腔体相连通的主真空管，腔体通过直管与主真空管相连，直管上设有阀门，第一个腔体与最后一个腔体分别与外界大气相连通，现有的镀膜机额第一个腔体从大气压抽气到真空时，抽气时间只有20s左右，抽气速度较快，最后一个腔体从真空放气到大气压时，放气时间只有10s左右，放气速度较快，而抽气速度、放气速度过快导致镀膜机在加工TFT液晶显示屏时显示屏受气流撞击力较大，使得TFT液晶显示屏的破片率较高、良率低，因此急需提高使用普通镀膜机加工TFT液晶显示屏的产品加工良率。

发明内容

本发明提供了一种镀膜机，该镀膜机的抽气速度、放气速度均较慢，可以减小气流的冲击率，降低TFT液晶显示屏的破片率，提高镀膜时的产品加工良率。

本发明采用的技术方案是，一种镀膜机，其特征在于，包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体设有出气管和第一真空管，所述的M15腔体设有进气管和第二真空管，所述的出气管、进气管的端部分别与大气连通，在出气管、进气管的管体上分别设有至少一个真空阀，在所述的第一真空管、第二真空管上分别设有机械泵、罗芡泵和蝶阀；在M1腔体设有与出气管相连接的出气孔，在所述的出气孔上设有第一过滤网，在所述的第一过滤网与所述的出气孔之间还设有挡板；在所述的M2、M3…M13、M14腔体的上方设有横向的主真空管，在所述的主真空管的两端分别设有机械泵和罗芡泵，所述的M2、M3…M13、M14腔体分别通过至少一个直管与所述的主真空管连通，在每个直管上均设有分子泵和真空阀；在所述的M1、M15腔体的两侧、M2与M3腔体之间及M13与M14腔体之间分别设有门阀。

采用以上技术方案后，本发明与现有技术相比具有以下优点：

通过在M1腔体的出气孔上设置挡板，使气流从挡板边缘流出，阻碍气流流出速度，降低由于抽气速度过快气流对TFT液晶显示屏的冲击力，避免破片，同时在第一真空管、第二真空管上分别设有机械泵、罗芡泵和蝶阀，通过使用蝶阀进一步控制抽气、放气速度，增加抽气、放气时间，降低破片率，提高产品加工良率。

作为改进，在所述的进气管上设有两个真空阀，真空阀设置较多在打开时则会导致放气速度较快，因此以两个为最佳。

作为改进，所述的进气管的端部设有第二过滤网，进一步降低放气速度。

作为改进，所述的M2、M3、M13及M14腔体分别通过一个直管与所述的主真空管连通，M4…M9分别通过两个直管与所述的主真空管连通，使得各腔体内的压强尽量趋于平衡。

本发明还提供了一种镀膜方法，该方法包括以下步骤：

S1、M1腔体进行抽真空，控制抽气时间大于3分钟；

S2、将M1与M2、M2与M3、M13与M14、M14与M15之间门阀的开门速度调整为最慢；

S3、打开M2、M3、M13、M14腔体对应连接的直管上的一个分子泵；打开M4、M6、M8、M9腔体对应连接的直管上的两个分子泵；

S4、给M2至M14腔体中充入Ar气；

S5、将M12腔体中的温度设置为0°，剩余腔体的温度设置为60°。

采用以上方法后，本发明与现有技术相比具有以下优点：