[发明专利]一种等离子体放电电极的制备方法

摘要

本发明涉及等离子体技术领域，尤其涉及一种等离子体放电电极的制备方法。利用沉积法在铝基座上沉积绝缘层，然后采用蚀刻法，在绝缘层上制作调节通道和凹槽，之后将固定层与绝缘层固定，之后设置氧化铝层以及调节螺杆、压缩弹簧。可通过转动调节螺母，经由调节螺杆调节固定层和氧化铝层之间的距离，对绝缘层表面的自偏压进行调节，使绝缘层表面的离子能量特性及分布状况达到工艺要求，从而减少更换电极的时间，提高等离子体设备的运行效率。

主权项

1.一种等离子体放电电极的制备方法，其特征在于，等离子体放电电极包括电源固定架(1)、铝基座(2)、绝缘层(3)、调节螺杆(4)、压缩弹簧(5)、固定层(6)、氧化铝层(7)、固定螺栓(9)、射频电源(11)以及调节螺母(12)；所述电源固定架(1)的一侧设置有槽体(14)，所述铝基座(2)设置在所述槽体(14)的一侧，所述射频电源(11)固定于所述电源固定架(1)上与所述槽体(14)相反的一侧；所述绝缘层(3)设置于所述铝基座(2)上远离所述电源固定架(1)的一侧；所述绝缘层(3)端面设置有凹槽(15)，所述绝缘层(3)的顶部和底部分别设置有与所述凹槽(15)连通的调节通道(8)；所述固定层(6)和所述氧化铝层(7)均竖直设置于所述有凹槽(15)内；所述固定层(6)与所述氧化铝层(7)相互平行，所述固定层(6)位于所述凹槽(15)的外侧，所述氧化铝层(7)位于所述凹槽(15)的内侧；所述铝基座(2)的顶部和底部设置有贯穿所述铝基座(2)两端面的通孔(13)；所述调节螺杆(4)呈L形，所述调节螺杆(4)设置于所述通孔(13)内；所述调节螺杆(4)伸出所述通孔(13)的一端与所述氧化铝层(7)的端部连接；所述铝基座(2)的端面与所述调节螺杆(4)之间设置有所述压缩弹簧(5)；所述电源固定架(1)上对应所述通孔(13)设置有过孔(10)，所述调节螺杆(4)的末端穿过所述过孔(10)的一端设置有所述调节螺母(12)；所述电源固定架(1)和所述铝基座(2)之间通过所述固定螺栓(9)连接；制备方法步骤如下：利用沉积法在铝基座上沉积绝缘层，然后采用蚀刻法，在绝缘层上制作调节通道和凹槽，之后将固定层与绝缘层固定，之后设置氧化铝层以及调节螺杆、压缩弹簧。