[发明专利]基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法在审

专利信息
申请号: 201711059596.2 申请日: 2017-11-01
公开(公告)号: CN107863301A 公开(公告)日: 2018-03-30
发明(设计)人: 敖国军;杨兵;蒋长顺 申请(专利权)人: 无锡中微高科电子有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/48;H01L23/467;H01L23/367
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 殷红梅
地址: 214035 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,包括如下步骤;槽体形成‑芯片贴片‑引线键合‑包封‑通孔形成‑金属化‑植球;本发明先采用模塑工艺方法将芯片、键合引线、焊盘等包封在IC载板同侧,然后在包封材料上进行通孔,并在通孔内填充金属,形成植球焊盘,并在植球焊盘上焊接焊球,可提高包封的密度、一致性、平整性及与IC载板结合强度,降低包封后的吸水性,显著提高了集成电路的信赖度,满足客户高可靠要求;同时制备方法采用激光或等离子或机械加工等多种工艺方式,可灵活精确地控制通孔的深度和宽度,减去了昂贵的塑封模具费用和长时间的模具开发周期,降低了运行成本和减少开发周期。
搜索关键词: 基于 模塑通孔 方式 向下 阵列 塑料 封装 方法
【主权项】:
基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征是:包括如下步骤:步骤一. 槽体形成:选取一IC载板(1),通过激光或等离子或机械切割,在IC载板(1)上的中心区域形成一个槽体(9);在槽体(9)四周的IC载板(1)上均匀分布有若干个焊盘(2),所述焊盘(2)间均通过传输线(3)连接,且传输线(3)深入到IC载板(1)内部;步骤二. 芯片贴片:将芯片(4)通过贴片的方式安装在槽体(9)内;步骤三. 引线键合:通过键合工艺,将芯片(4)通过键合引线(5)与靠近槽体(9)的焊盘(2)焊接,实现芯片(4)与IC载板(1)的互连;步骤四. 包封:通过压缩或注塑工艺,将组装好的芯片(4)、键合引线(5)、焊盘(2)利用包封料(7)包封起来,并固化;步骤五. 通孔形成:采用激光或等离子或机械加工工艺方式,对包封料(7)进行加工,形成通孔(6);步骤六. 金属化:采用化学镀或电镀或蒸发或溅射工艺方式,在通孔(6)内填充金属,形成金属化及植球焊盘(10);步骤七. 植球:在植球焊盘(10)上焊接焊球(8),所述焊球(8)用于引出芯片(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡中微高科电子有限公司,未经无锡中微高科电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711059596.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top