[发明专利]基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法在审

专利信息
申请号: 201711059596.2 申请日: 2017-11-01
公开(公告)号: CN107863301A 公开(公告)日: 2018-03-30
发明(设计)人: 敖国军;杨兵;蒋长顺 申请(专利权)人: 无锡中微高科电子有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/48;H01L23/467;H01L23/367
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 殷红梅
地址: 214035 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 基于 模塑通孔 方式 向下 阵列 塑料 封装 方法
【权利要求书】:

1.基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征是:包括如下步骤:

步骤一. 槽体形成:选取一IC载板(1),通过激光或等离子或机械切割,在IC载板(1)上的中心区域形成一个槽体(9);

在槽体(9)四周的IC载板(1)上均匀分布有若干个焊盘(2),所述焊盘(2)间均通过传输线(3)连接,且传输线(3)深入到IC载板(1)内部;

步骤二. 芯片贴片:将芯片(4)通过贴片的方式安装在槽体(9)内;

步骤三. 引线键合:通过键合工艺,将芯片(4)通过键合引线(5)与靠近槽体(9)的焊盘(2)焊接,实现芯片(4)与IC载板(1)的互连;

步骤四. 包封:通过压缩或注塑工艺,将组装好的芯片(4)、键合引线(5)、焊盘(2)利用包封料(7)包封起来,并固化;

步骤五. 通孔形成:采用激光或等离子或机械加工工艺方式,对包封料(7)进行加工,形成通孔(6);

步骤六. 金属化:采用化学镀或电镀或蒸发或溅射工艺方式,在通孔(6)内填充金属,形成金属化及植球焊盘(10);

步骤七. 植球:在植球焊盘(10)上焊接焊球(8),所述焊球(8)用于引出芯片(4)。

2.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述焊盘(2)分为键合焊盘(21)和互连焊盘(22),所述键合焊盘(21)设置在槽体(9)的四周,且通过键合引线(5)与芯片(4)连接,所述互连(22)分布在键合焊盘(21)的外侧,且通过通孔(6)与植球焊盘(10)电连接。

3.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述步骤四包封后,还可对包封料(7)进行研磨,来调节封装体的厚度。

4.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述IC载板(1)包括环氧树脂或BT树脂、玻璃布及铜。

5.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述包封料(7)包括环氧树脂。

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