[发明专利]基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法在审
| 申请号: | 201711059596.2 | 申请日: | 2017-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN107863301A | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
| 发明(设计)人: | 敖国军;杨兵;蒋长顺 | 申请(专利权)人: | 无锡中微高科电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/48;H01L23/467;H01L23/367 |
| 代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人: | 殷红梅 |
| 地址: | 214035 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 模塑通孔 方式 向下 阵列 塑料 封装 方法 | ||
1.基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征是:包括如下步骤:
步骤一. 槽体形成:选取一IC载板(1),通过激光或等离子或机械切割,在IC载板(1)上的中心区域形成一个槽体(9);
在槽体(9)四周的IC载板(1)上均匀分布有若干个焊盘(2),所述焊盘(2)间均通过传输线(3)连接,且传输线(3)深入到IC载板(1)内部;
步骤二. 芯片贴片:将芯片(4)通过贴片的方式安装在槽体(9)内;
步骤三. 引线键合:通过键合工艺,将芯片(4)通过键合引线(5)与靠近槽体(9)的焊盘(2)焊接,实现芯片(4)与IC载板(1)的互连;
步骤四. 包封:通过压缩或注塑工艺,将组装好的芯片(4)、键合引线(5)、焊盘(2)利用包封料(7)包封起来,并固化;
步骤五. 通孔形成:采用激光或等离子或机械加工工艺方式,对包封料(7)进行加工,形成通孔(6);
步骤六. 金属化:采用化学镀或电镀或蒸发或溅射工艺方式,在通孔(6)内填充金属,形成金属化及植球焊盘(10);
步骤七. 植球:在植球焊盘(10)上焊接焊球(8),所述焊球(8)用于引出芯片(4)。
2.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述焊盘(2)分为键合焊盘(21)和互连焊盘(22),所述键合焊盘(21)设置在槽体(9)的四周,且通过键合引线(5)与芯片(4)连接,所述互连(22)分布在键合焊盘(21)的外侧,且通过通孔(6)与植球焊盘(10)电连接。
3.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述步骤四包封后,还可对包封料(7)进行研磨,来调节封装体的厚度。
4.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述IC载板(1)包括环氧树脂或BT树脂、玻璃布及铜。
5.根据权利要求1所述的基于模塑通孔方式腔体向下的球栅阵列塑料封装方法,其特征在于,所述包封料(7)包括环氧树脂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





