[发明专利]反射镜微调装置及方法有效
| 申请号： | 201711056920.5 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107942470B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 何坚兵;潘奕;丁俊侠;丁庆 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;H02K33/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518102 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反射镜微调装置及方法。反射镜微调装置包括夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。本发明还提供一种基于反射镜微调装置的反射镜微调方法。本发明将微调结构与夹持结构的连接，实现了在满足低分辨率的情况下反射镜角度的自动化调整，由于微调结构的成本低廉，从而降低了传统反射镜微调装置的成本，并且使微调装置更容易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 微调 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种反射镜微调装置，用于提高反射镜的偏移精度，其特征在于，包括：夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。
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