[发明专利]反射镜微调装置及方法

说明书

本发明提供一种反射镜微调装置及方法。反射镜微调装置包括夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。本发明还提供一种基于反射镜微调装置的反射镜微调方法。本发明将微调结构与夹持结构的连接，实现了在满足低分辨率的情况下反射镜角度的自动化调整，由于微调结构的成本低廉，从而降低了传统反射镜微调装置的成本，并且使微调装置更容易控制。

技术领域

本发明涉及反射镜角度微调领域，特别是涉及一种反射镜微调装置及方法。

背景技术

目前，在光学实验以及光学仪器中，很多地方都要对反射镜的角度进行微调。在傅里叶变换红外光谱仪中，需要微调分辨率达到1um。而手动调节的千分尺分辨率一般为0.01mm。目前，对于一些微调分辨率要求较高，并且需要自动化调整的场合，往往使用压电陶瓷制成的压电陶瓷电机来控制，可以达到10nm的分辨率，但是压电陶瓷电机价格昂贵，并且需要高压供电，一般需要的电压超过75V或150V，而且对于由压电陶瓷电机组成的反射镜角度自动调整装置不太容易使用。

发明内容

基于此，有必要针对反射镜微调装置的成本较高、需要高压供电、不太容易使用的问题，提供一种反射镜微调装置及方法。

一种反射镜微调装置，用于提高反射镜的偏移精度，包括：

夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。

在其中一个实施例中，所述夹持结构还包括夹持本体、抵接件以及与所述夹持本体连接的至少两个弹片；所述夹持本体开设有与所述反射镜形状相似、并用于容纳所述反射镜的开口；所述弹片从所述反射镜未带镀层的一面与所述反射镜相抵，所述抵接件从所述反射镜带有镀层的一面与所述反射镜相抵。

在其中一个实施例中，所述夹持本体上开设有自夹持本体外侧向所述开口内延伸的多个通孔，所述抵接件穿过所述通孔延伸出的部分与所述反射镜带有镀层的一面相抵接，留在所述通孔内的部分与所述夹持本体固定连接。

在其中一个实施例中，所述抵接件包括螺纹件、金属条、金属方条中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述抵接件与所述反射镜带有镀层的一面抵接的部分为平面。

在其中一个实施例中，所述抵接件的粗细和所述抵接件穿过所述通孔延伸出的部分的长度能够根据实际需要进行改变。

在其中一个实施例中，所述微调结构包括：

底板，用于提供支撑；线圈，用于产生电磁场，与所述底板连接；推拉轴，用于提供所述推力，置于所述线圈内部；复位弹片，用于产生回力，分别与所述底板和所述推拉轴连接；导线，用于提供电能，与所述线圈电气连接。

在其中一个实施例中，所述复位弹片包括铜片、铁片、不锈钢片中的至少一种。

本发明基于上述反射镜微调装置还提供一种反射镜微调方法，所述方法包括步骤：

将抵接件穿过夹持结构的通孔，调整所述抵接件的位置；

将弹片安装在所述夹持结构的夹持本体上；

通过所述弹片与所述抵接件在反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持住所述反射镜；

调整微调结构与所述夹持结构的位置并将所述微调结构与所述夹持结构连接；

通过调节所述微调结构产生的推力对所述反射镜的转动角度进行调整。