[发明专利]CCD相机调整固定装置及其调整固定方法有效

专利信息
申请号: 201711051622.7 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN109725496B 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 袁伟杰;周媛红 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种CCD相机调整固定装置及其固定调整方法,所述CCD相机调整固定装置用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置,所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉,所述CCD相机和转接镜筒固定连接,所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上,所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上,所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。CCD相机在载体上连接稳定,避免了CCD相机不稳定而获取分辨率低的图像,影响对准系统的精确性。所述CCD相机调整固定装置的固定调整方法操作简单,方便快捷,节约了动作时间,提高了生产效率。
搜索关键词: ccd 相机 调整 固定 装置 及其 方法
【主权项】:
1.一种CCD相机调整固定装置,用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置,其特征在于,所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉,所述CCD相机和转接镜筒固定连接,所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上,所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上,所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。
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