[发明专利]CCD相机调整固定装置及其调整固定方法有效
申请号: | 201711051622.7 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN109725496B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 袁伟杰;周媛红 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种CCD相机调整固定装置及其固定调整方法,所述CCD相机调整固定装置用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置,所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉,所述CCD相机和转接镜筒固定连接,所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上,所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上,所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。CCD相机在载体上连接稳定,避免了CCD相机不稳定而获取分辨率低的图像,影响对准系统的精确性。所述CCD相机调整固定装置的固定调整方法操作简单,方便快捷,节约了动作时间,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | ccd 相机 调整 固定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种CCD相机调整固定装置,用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置,其特征在于,所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉,所述CCD相机和转接镜筒固定连接,所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上,所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上,所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711051622.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:防撞装置及曝光机台
- 下一篇:运动台移动机构、运动台系统与光刻装置