[发明专利]CCD相机调整固定装置及其调整固定方法

说明书

本发明公开了一种CCD相机调整固定装置及其固定调整方法，所述CCD相机调整固定装置用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉，所述CCD相机和转接镜筒固定连接，所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上，所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上，所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。CCD相机在载体上连接稳定，避免了CCD相机不稳定而获取分辨率低的图像，影响对准系统的精确性。所述CCD相机调整固定装置的固定调整方法操作简单，方便快捷，节约了动作时间，提高了生产效率。

技术领域

本发明涉及光刻机领域，特别涉及CCD相机调整固定装置及其调整固定方法。

背景技术

对准系统是光刻机系统中一个非常重要的核心分系统，对准精度往往决定了光刻机所能达到的精度。机器视觉系统(MVS，Machine Vision System)作为一种对准传感器，广泛应用于光刻领域。机器视觉系统通常用于把掩模上的标记和硅片上的标记进行对准。CCD相机是机器视觉系统中的核心部件，用于采集图像信号、传输信号。CCD相机通过获取一定分辨率的图像，控制计算机通过标定板及运动平台完成机器视觉系统的标定，再通过模板匹配定位，实现对被测物的定位。因此CCD相机固定的稳定性直接影响机器视觉系统的定位精度。

现有CCD相机调整固定装置采用旋转螺纹调整、锁紧环固定的方式。如图1所示，CCD相机801通过螺纹安装到CCD座803上，其调整方式为通过直接旋转CCD相机801和CCD座803之间的连接螺纹，旋转到一定角度后再将锁紧环802旋转到CCD相机801的端面上，进而将CCD相机801固定在CCD座803上，再通过CCD座803安装到载体上。由于CCD相机801的固定仅靠锁紧环802的螺纹预紧力，并无其他防松结构，故在一定的振动环境下，锁紧环802会松动，进而造成CCD相机801的不稳定，CCD相机获取的图像分辨率低，影响对准系统的精确性。另一方面CCD座803采用金属材料加工，CCD相机801产生的热量通过CCD座803直接传递到载体，影响载体的性能。

发明内容

本发明提供了一种CCD相机调整固定装置，用以解决现有的CCD相机调整固定装置固定不牢固的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种CCD相机调整固定装置，用于调整、固定CCD相机和载体之间的位置，所述CCD相机调整固定装置包括转接镜筒、固定板、若干固定螺钉和若干锁紧螺钉，所述CCD相机和转接镜筒固定连接，所述转接镜筒通过所述固定螺钉固定在所述固定板上，所述固定板通过所述锁紧螺钉固定在所述载体上，所述固定板上具有若干腰形孔用于调整CCD相机与载体之间的角度。所述CCD相机连接在所述转接镜筒上，所述转接镜筒通过固定螺钉固定在通过锁紧螺钉固定在载体上的固定板上，所述CCD相机通过螺钉固定方式固定在所述载体上，当载体有振动时，螺钉固定的方式较稳定不易产生松动，CCD相机在载体上连接稳定，避免了CCD相机不稳定而获取分辨率低的图像，影响对准系统的精确性。进行调整时，松开所述固定螺钉或同时所述固定螺钉和锁紧螺钉，整体旋转所述转接镜筒和CCD相机至需要的位置，然后拧紧松开的螺钉完成所述CCD相机10的调整。

作为优选，所述CCD相机和转接镜筒采用螺纹连接，所述CCD相机上设置有C-Mount接口。

作为优选，所述固定板包括转接所述转接镜筒的转接部和环绕所述转接部设置的固定部；所述转接部上设有与所述固定螺钉数量对应的固定螺钉过孔，所述固定螺钉过孔呈圆周分布，所述转接镜筒设置在所述转接部一侧，所述固定螺钉从所述转接部的另一侧穿过所述固定螺钉过孔连接所述转接镜筒；所述固定部上设有与所述锁紧螺钉数量对应的锁紧螺钉过孔，所述锁紧螺钉过孔呈圆周分布，所述锁紧螺钉从所述固定螺钉的对侧穿过所述锁紧螺钉过孔连接所述载体。

作为优选，所述锁紧螺钉过孔为腰形孔。