[发明专利]一种等边三棱镜顶角偏差测量方法有效
申请号: | 201711029546.X | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN107941469B | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 丁煜;何佳竻;陈磊;孔庆庆;刘致远;杨影;马云;王冲 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 32203 南京理工大学专利中心 | 代理人: | 薛云燕<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 210094江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种等边三棱镜顶角偏差测量方法。该方法包括三个步骤:第一步、将两块反射镜固定成60°的角镜,且角镜60°角的角平分线与干涉仪出射光光轴平行,测量自准直返回的两支光的夹角;第二步、将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间,且待测顶角正对干涉仪,由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面,再分别经过角镜的两个面反射回来的两支光的夹角;第三步、综合测量结果,得到待测等边三棱镜的顶角偏差。本方法步骤少、操作简单、精度高,可以用于等边三棱镜顶角偏差的高精度测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 等边 三棱镜 顶角 偏差 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种等边三棱镜顶角偏差测量方法,其特征在于,该方法基于斐索型激光干涉系统,使用外角补偿法测量等边三棱镜的顶角偏差,具体包括以下步骤:/n步骤1,在干涉仪测量光路中固定一个60°的角镜,且角镜的角平分线与干涉仪出射光的光轴平行,测量自准直返回的两支光的夹角;/n步骤2,将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间,且待测顶角正对干涉仪;由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面,再分别经角镜两个面反射回来的两支光的夹角;/n步骤3,根据步骤1、2的测量结果,计算待测等边三棱镜的顶角偏差;/n步骤3所述根据步骤1、2的测量结果,计算待测等边三棱镜的顶角偏差Δθ,公式如下:/n /n其中,Θ为角镜两侧面分别返回的光的夹角, 为由干涉图测量出的反射回来的两支光的夹角。/n
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