[发明专利]一种等边三棱镜顶角偏差测量方法

权利要求书

1.一种等边三棱镜顶角偏差测量方法，其特征在于，该方法基于斐索型激光干涉系统，使用外角补偿法测量等边三棱镜的顶角偏差，具体包括以下步骤：

步骤1，在干涉仪测量光路中固定一个60°的角镜，且角镜的角平分线与干涉仪出射光的光轴平行，测量自准直返回的两支光的夹角；

步骤2，将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间，且待测顶角正对干涉仪；由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面，再分别经角镜两个面反射回来的两支光的夹角；

步骤3，根据步骤1、2的测量结果，计算待测等边三棱镜的顶角偏差；

步骤3所述根据步骤1、2的测量结果，计算待测等边三棱镜的顶角偏差Δθ，公式如下：

其中，Θ为角镜两侧面分别返回的光的夹角，为由干涉图测量出的反射回来的两支光的夹角。

2.根据权利要求1所述的等边三棱镜顶角偏差测量方法，其特征在于，步骤1所述在干涉仪测量光路中固定一个60°的角镜，且角镜的角平分线与干涉仪出射光的光轴平行，测量自准直返回的两支光的夹角，具体如下：

(1.1)调整待测组成角镜的两反射镜的姿态，使分别经两反射镜返回的光自准直回去，且两组干涉条纹数均少于设定值；

(1.2)利用干涉仪，采集经参考镜返回的光与角镜两侧面分别返回的光形成的两组干涉条纹，分析得到角镜两侧面分别返回的光的夹角Θ。

3.根据权利要求1所述的等边三棱镜顶角偏差测量方法，其特征在于，步骤2所述将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间，且待测顶角正对干涉仪；由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面，再分别经角镜两个面反射回来的两支光的夹角，具体步骤如下：

(2.1)将待测三棱镜固定在调整架上，并将待测顶角正对干涉仪出光口，粗调三棱镜的姿态，使干涉仪出射光经三棱镜顶角的两侧面，再分别经角镜两反射面返回的光自准直回去，得到干涉图；

(2.2)调节固定三棱镜的调整架，精调三棱镜的姿态，直至两组干涉条纹数均少于设定值；

(2.3)由干涉图测量出反射回来的两支光的夹角