[发明专利]一种紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种日盲型紫外探测器及其制备方法，由石英衬底、氧化镓外延层和Au电极组成；所述石英衬底的厚度为3mm‑7mm，所述氧化镓外延层生长于所述石英衬底上，厚度为250‑350nm，所述Au电极的形状为圆形，厚度为40‑60nm，直径为80‑100nm。本发明实施例提出一种基于氧化镓薄膜的紫外探测器，采用化学气相沉积法在石英衬底上制备氧化镓外延层，采用磁控溅射法在氧化镓外延层上制备电极，解决了现有技术中氧化锌、氮化镓以及碳化硅等材料不能应用于制备紫外探测器的技术问题。

主权项

一种日盲型紫外探测器，其特征在于，包括石英衬底、氧化镓外延层和Au电极；所述石英衬底的的厚度为3mm‑7mm，所述氧化镓外延层生长于所述石英衬底上，厚度为250‑350nm，所述Au电极的形状为圆形，厚度为40‑60nm，直径为80‑100nm。