[发明专利]一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置有效
| 申请号： | 201711025679.X | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107829065B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊;韩乔楠 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置，涉及显示技术领域，可解决开口掩膜板无法蒸镀形成内部包含镂空部分的图案块的问题。开口掩膜板，包括至少一个镂空图案组；镂空图案组包括一行间隔排布的第一镂空图案和一行间隔排布的第二镂空图案；同一镂空图案组中，开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第一镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第二镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第三镂空图案，开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第二镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第一镂空图案可拼接成一行第三镂空图案；第一镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的一部分，第二镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的另一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开口 掩膜板 母板 及其 制备 方法 基板 显示装置 | ||
【主权项】：
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