[发明专利]一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置

说明书

本发明提供一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置，涉及显示技术领域，可解决开口掩膜板无法蒸镀形成内部包含镂空部分的图案块的问题。开口掩膜板，包括至少一个镂空图案组；镂空图案组包括一行间隔排布的第一镂空图案和一行间隔排布的第二镂空图案；同一镂空图案组中，开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第一镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第二镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第三镂空图案，开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第二镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第一镂空图案可拼接成一行第三镂空图案；第一镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的一部分，第二镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的另一部分。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)是自发光器件，不需要背光源，外观轻薄，具有功耗低、视角宽、屏幕响应快等优点。

制备OLED时，通常采用一种较为成熟且高精度的真空蒸镀技术，在制备过程中，OLED中功能层的材料会淀积在位于蒸发源上方的衬底。为了形成特有的图案，在衬底靠近蒸发源一侧设置有开口掩膜板，开口掩膜板上留有预先设计好的镂空图案，最终功能层的材料会通过金属掩膜板上的镂空区域沉积到衬底上。

现有的蒸镀用的open mask(开口掩膜板)使用范围较为局限，蒸镀形成一个完整的图案块没有问题，但当需要蒸镀形成一个内部包含镂空部分的图案块时，就无法满足需求。

发明内容

本发明的实施例提供一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置，可解决开口掩膜板无法蒸镀形成内部包含镂空部分的图案块的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供一种开口掩膜板，包括至少一个镂空图案组；所述镂空图案组包括一行间隔排布的第一镂空图案和一行间隔排布的第二镂空图案；同一所述镂空图案组中，所述开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行所述第一镂空图案与所述开口掩膜板未旋转时的一行所述第二镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第三镂空图案，所述开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行所述第二镂空图案与所述开口掩膜板未旋转时的一行所述第一镂空图案可拼接成一行所述第三镂空图案；所述第一镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的一部分，所述第二镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的另一部分。

可选的，所述第一镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的一半，所述第二镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的另一半。

可选的，所述遮挡区的轮廓为轴对称图形；所述第一镂空图案的轮廓包含所述轴对称图形中以对称轴作为分界划分得到的一半，所述第二镂空图案的轮廓包含所述轴对称图形中以对称轴作为分界划分得到的另一半。

可选的，所述开口掩膜板还包括一行间隔排布的第四镂空图案，所述第一镂空图案、所述第二镂空图案和所述第四镂空图案的行数之和为奇数；所述第四镂空图案所在行为中间行；所述开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行所述第四镂空图案与所述开口掩膜板未旋转时的一行所述第四镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第五镂空图案。

可选的，同一镂空图案组中的一行所述第一镂空图案与一行所述第二镂空图案呈镜像对称分布。

可选的，所述开口掩膜板的材料包括因瓦合金。