[发明专利]金刚石纳米针结构及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201711018185.9 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109705857B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 杨扬;唐永炳;张文军 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种金刚石纳米针结构包括金刚石基体层和在所述金刚石基体层表面上延伸出的若干金刚石纳米针，相邻所述金刚石纳米针彼此间隔，在所述金刚石纳米针表层中还分布有色心结构。一种金刚石纳米针结构制备方法包括对金刚石膜层刻蚀形成金刚石纳米针、在金刚石纳米针表面生长delta‑掺杂层和对delta‑掺杂层进行电子束辐照和退火处理的步骤。一种金刚石纳米针结构用于制备向细胞内递送物质的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 纳米 结构 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石纳米针结构，包括金刚石基体层和在所述金刚石基体层表面上延伸出的若干金刚石纳米针，其特征在于：相邻所述金刚石纳米针彼此间隔，且所述金刚石纳米针垂直于所述金刚石基体层表面，在所述金刚石纳米针表层中还分布有色心结构。
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