[发明专利]一种平面度快速测量方法在审

专利信息
申请号: 201710961480.1 申请日: 2017-10-16
公开(公告)号: CN109668531A 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 华正浩;朱光茂;张晓华;张林川 申请(专利权)人: 南京龙贞自控科技发展有限公司
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 代理人: 陈琛
地址: 210019 江苏省南京市建邺*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种平面度快速测量方法,包括如下步骤:步骤一,将被测样品放置在一个水平台面上,其被测面朝下;步骤二,水平台面内部安装有多个激光位移传感器,并在台面上设置有测量孔;步骤三,开启激光位移传感器,同时可以移动被测样品,利用激光位移传感器扫过样品表面多个位置;步骤四,激光位移传感器将测量结果自动写入采集程序中,并提取最大值和最小值,从而得到平面度信息;步骤五,将测量结果自动填入输出模板中,并打印平面度测试报告。本发明的平面度快速测量方法,能够快速准确的进行平面度测量,一致性高。
搜索关键词: 平面度 激光位移传感器 快速测量 被测样品 水平台面 平面度测量 采集程序 测试报告 内部安装 输出模板 样品表面 被测面 测量孔 填入 写入 打印 移动
【主权项】:
1.一种平面度快速测量方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一,将被测样品放置在一个水平台面上,其被测面朝下;步骤二,水平台面内部安装有多个激光位移传感器,并在台面上设置有测量孔;步骤三,开启激光位移传感器,同时可以移动被测样品,利用激光位移传感器扫过样品表面多个位置;步骤四,激光位移传感器将测量结果自动写入采集程序中,并提取最大值和最小值,从而得到平面度信息;步骤五,将测量结果自动填入输出模板中,并打印平面度测试报告。
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