[发明专利]一种平面度快速测量方法在审
申请号: | 201710961480.1 | 申请日: | 2017-10-16 |
公开(公告)号: | CN109668531A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 华正浩;朱光茂;张晓华;张林川 | 申请(专利权)人: | 南京龙贞自控科技发展有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人: | 陈琛 |
地址: | 210019 江苏省南京市建邺*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种平面度快速测量方法,包括如下步骤:步骤一,将被测样品放置在一个水平台面上,其被测面朝下;步骤二,水平台面内部安装有多个激光位移传感器,并在台面上设置有测量孔;步骤三,开启激光位移传感器,同时可以移动被测样品,利用激光位移传感器扫过样品表面多个位置;步骤四,激光位移传感器将测量结果自动写入采集程序中,并提取最大值和最小值,从而得到平面度信息;步骤五,将测量结果自动填入输出模板中,并打印平面度测试报告。本发明的平面度快速测量方法,能够快速准确的进行平面度测量,一致性高。 | ||
搜索关键词: | 平面度 激光位移传感器 快速测量 被测样品 水平台面 平面度测量 采集程序 测试报告 内部安装 输出模板 样品表面 被测面 测量孔 填入 写入 打印 移动 | ||
【主权项】:
1.一种平面度快速测量方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一,将被测样品放置在一个水平台面上,其被测面朝下;步骤二,水平台面内部安装有多个激光位移传感器,并在台面上设置有测量孔;步骤三,开启激光位移传感器,同时可以移动被测样品,利用激光位移传感器扫过样品表面多个位置;步骤四,激光位移传感器将测量结果自动写入采集程序中,并提取最大值和最小值,从而得到平面度信息;步骤五,将测量结果自动填入输出模板中,并打印平面度测试报告。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京龙贞自控科技发展有限公司,未经南京龙贞自控科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710961480.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种轴与轴孔对中检测方法及对中检测装置
- 下一篇:一种基片表面检测方法及装置