[发明专利]一种平面度快速测量方法在审
| 申请号： | 201710961480.1 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109668531A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 华正浩;朱光茂;张晓华;张林川 | 申请（专利权）人： | 南京龙贞自控科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 陈琛 |
| 地址： | 210019 江苏省南京市建邺*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面度 激光位移传感器 快速测量 被测样品 水平台面 平面度测量 采集程序 测试报告 内部安装 输出模板 样品表面 被测面 测量孔 填入 写入 打印 移动 | ||
1.一种平面度快速测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一，将被测样品放置在一个水平台面上，其被测面朝下；
步骤二，水平台面内部安装有多个激光位移传感器，并在台面上设置有测量孔；
步骤三，开启激光位移传感器，同时可以移动被测样品，利用激光位移传感器扫过样品表面多个位置；
步骤四，激光位移传感器将测量结果自动写入采集程序中，并提取最大值和最小值，从而得到平面度信息；
步骤五，将测量结果自动填入输出模板中，并打印平面度测试报告。
2.根据权利要求1所述的一种平面度快速测量方法，其特征在于，步骤一中，水平台面为大理石台面，放置在恒温恒湿环境中。
3.根据权利要求1所述的一种平面度快速测量方法，其特征在于，步骤一中，水平台面需要经过标定检测，台面平面度不低于被测样品的平面度。
4.根据权利要求1所述的一种平面度快速测量方法，其特征在于，步骤二中，台面内部设置有激光位移传感器，激光可以穿过台面上的测量孔。
5.根据权利要求1所述的一种平面度快速测量方法，其特征在于，步骤三中，样品测量面与台面贴合，并进行水平或者旋转移动，使得激光扫过样品所有测量位置，得出样品不同位置的高度差，转换为平面度。
6.根据权利要求1所述的一种平面度快速测量方法，其特征在于，步骤四中，所有测量结果都可以通过程序自动采集，并提取最大最小值，得到平面度，如果按照特定的规则进行样品表面扫描，得到整个样品表面的平面度特征。
7.根据权利要求1所述的一种平面度快速测量方法，其特征在于，步骤五中，软件中设置有测试报告模板，测量结果可以自动输入值测量报告模板中，并自动打印，方便查看。
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