[发明专利]可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪在审
| 申请号： | 201710961278.9 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN107511841A | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 马俊麒 | 申请（专利权）人： | 海鑫光电系统科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J9/00;B25J9/10 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司11408 | 代理人： | 林柳岑,何尤玉 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，包括有一基架及一对可相对摆动地连接于该基架的夹臂，各夹臂分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆；本发明的机器人夹爪通过可相对摆动的夹臂调整两夹臂之间的距离，并使不同尺寸的晶圆承载篮能够对应挂置于距离相对应的挂杆上，以实现单一夹爪能够挂置尺寸不同的晶圆承载篮的效果，省去了更换机器人夹爪的麻烦。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 不同 尺寸 承载 机器人 | ||
【主权项】：
一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其特征在于，包括：一对基架，各基架呈水平延伸且互相平行设置；一对夹臂，各夹臂分别连接于各基架且可相对摆动，并分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆。
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