[发明专利]低温泵有效
| 申请号： | 201710957922.5 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN107725319B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 高桥走 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B37/18 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温泵，其适于氢气等非冷凝性气体的高速排气。低温泵(10)具备：低温板总成(20)，具备在两表面上具有吸附区域(48)的多个低温板；放射屏蔽件(30)，形成包围低温板总成(20)的气体接收空间(50)；及放射罩(32)，配设于吸气口(12)。放射罩(32)具备：主板(52)，配置于吸气口(12)的与低温板总成(20)对应的位置；及百叶窗部(54)，配置于吸气口(12)的与气体接收空间(50)对应的位置。放射罩(32)也可不具备百叶窗部(54)。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 | ||
【主权项】：
一种低温泵，其特征在于，具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域且沿轴向排列的多个低温板；放射屏蔽件，形成包围所述低温板总成的气体接收空间；及放射罩，配设于低温泵吸气口，且具备：平板状的主板，配置于所述低温泵吸气口的与所述低温板总成对应的位置且沿径向延伸；及百叶窗部，配置于所述低温泵吸气口的与所述气体接收空间对应的位置；所述低温板总成还具备在最靠近所述吸气口的位置与所述主板对置，且至少在轴向上远离所述吸气口的表面上形成有吸附区域，并且沿所述径向延伸的平板状的顶板，所述主板最多占所述低温泵吸气口的开口面积的1/3。
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