[发明专利]低温泵

说明书

本发明提供一种低温泵，其适于氢气等非冷凝性气体的高速排气。低温泵(10)具备：低温板总成(20)，具备在两表面上具有吸附区域(48)的多个低温板；放射屏蔽件(30)，形成包围低温板总成(20)的气体接收空间(50)；及放射罩(32)，配设于吸气口(12)。放射罩(32)具备：主板(52)，配置于吸气口(12)的与低温板总成(20)对应的位置；及百叶窗部(54)，配置于吸气口(12)的与气体接收空间(50)对应的位置。放射罩(32)也可不具备百叶窗部(54)。

本申请是申请日为2014年2月27日、申请号为201410070233.9、名称为“低温泵”的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

以往的低温泵由第1冷却台冷却头和与其连接的第1冷却台屏蔽件及第1冷却台挡板、第2冷却台冷却头和与其连接的第2冷却台低温板、及安装于该第2冷却台低温板背面的吸附体构成。该低温泵使气体在通过He制冷机冷却的第1冷却台屏蔽件、第1冷却台挡板及第2冷却台低温板冷凝从而进行真空排气。

专利文献1：日本特开平10-213065号公报

发明内容

本发明的一实施方式的例示性目的之一在于提供一种适于氢气等非冷凝性气体的高速排气的低温泵。

根据本发明的一实施方式，提供一种低温泵，其具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板；放射屏蔽件，形成包围所述低温板总成的气体接收空间；及放射罩，配设于低温泵吸气口，该放射罩具备：主板，配置于所述低温泵吸气口的与所述低温板总成对应的位置；及百叶窗部，配置于所述低温泵吸气口的与所述气体接收空间对应的位置。

根据本发明的一实施方式，提供一种低温泵，其特征在于，具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板，及放射罩，配设于低温泵吸气口，所述低温板总成具备与所述放射罩对置的顶板，所述放射罩具备主板，该主板最多占所述低温泵吸气口的开口面积的1/3。

另外，将本发明构成要件或表现在方法、装置、系统等之间进行相互替换，也作为本发明的方式而有效。

根据本发明，能够提供一种适合于氢气等非冷凝性气体的高速排气的低温泵。

附图说明

图1是示意表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的主要部分的剖视图。

图2是示意表示本发明的另一实施方式所涉及的低温泵的主要部分的剖视图。

图中：10-低温泵，12-吸气口，20-低温板总成，30-放射屏蔽件，32-放射罩，44-低温吸附板，48-吸附区域，50-气体接收空间，52-主板，54-百叶窗部，56-开放区域，58-百叶窗板。

具体实施方式

图1是示意表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的主要部分的剖视图。低温泵10安装于例如离子注入装置或溅射装置等真空腔室中，用于将真空腔室内部的真空度提高至工艺中所希望的级别。低温泵10具有用于接收气体的吸气口12。应被排出的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入到低温泵10的内部空间14。图1表示包含低温泵10的内部空间14的中心轴A的截面。