[发明专利]一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置有效
| 申请号： | 201710954460.1 | 申请日： | 2017-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN107511847B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘志峰;栗凤洋;许博;杨聪彬;程江丽;戚泽华 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学;北华航天工业学院 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00;B25J11/00;B25J17/00;F16J15/10 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，机器人末端由电机同步带实现翻转的动作，密封组件末端连接法兰连接翻转抓手，定管与前端的气路连接并由法兰固定在末端壳体内。吸附晶圆时的密封过程如下，气阀在气路内部产生负压，洁净室相对气路为正压，此时内外气压差将橡胶密封圈外圈压在定管上，由此气路密封可以进行晶圆的吸附抓取。因为密封是靠内外气压差进行的，所以进行翻转动作时完全不会影响气路的密封效果。此种气路方案避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计，并且极大程度的降低了加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 末端 翻转 机器人 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，其特征在于：该装置包括定管(121)、压紧螺母(122)、橡胶密封圈(123)、小橡胶圈(124)、动管(125)、滤网(126)、末端连接法兰(127)和小橡胶圈(128)；定管(121)的一端端部为阶梯状，两个小橡胶圈(124)沿径向方向并列套设在定管(121)的阶梯状处；橡胶密封圈(123)沿圆周方向套设在定管(121)的阶梯状处，压紧螺母(122)与定管(121)通过螺纹相配合，压紧螺母(122)用以固定橡胶密封圈(123)；然后将这部分连接到动管(125)的一端；末端连接法兰(127)用以将滤网(126)和小橡胶圈(128)压好并固定在动管(125)的另一端；前端气路与动力气缸相接，定管(121)与前端气路连接后一起固定在晶圆搬运机器人末端(1)上，末端连接法兰(127)与晶圆搬运机器人末端抓手(2)连接。
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