[发明专利]一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置有效
| 申请号： | 201710954460.1 | 申请日： | 2017-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN107511847B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘志峰;栗凤洋;许博;杨聪彬;程江丽;戚泽华 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学;北华航天工业学院 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00;B25J11/00;B25J17/00;F16J15/10 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 末端 翻转 机器人 密封 装置 | ||
1.一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，其特征在于：该装置包括定管(121)、压紧螺母(122)、橡胶密封圈(123)、小密封圈(124)、动管(125)、滤网(126)、末端连接法兰(127)和小橡胶圈(128)；
定管(121)的一端端部为阶梯状，两个小密封圈(124)沿径向方向并列套设在定管(121)的阶梯状处；橡胶密封圈(123)沿圆周方向套设在定管(121)的阶梯状处，压紧螺母(122)与定管(121)通过螺纹相配合，压紧螺母(122)用以固定橡胶密封圈(123)；然后将定管(121)连接到动管(125)的一端；末端连接法兰(127)用以将滤网(126)和小橡胶圈(128)压好并固定在动管(125)的另一端；
前端气路与动力气缸相接，定管(121)与前端气路连接后一起固定在晶圆搬运机器人末端(1)上，末端连接法兰(127)与晶圆搬运机器人末端抓手(2)连接；
橡胶密封圈(123)除承担密封功能外，工作状态时还与动管(125)进行摩擦。
2.根据权利要求1所述的一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，其特征在于：动管(125)的橡胶材料选用HNBR氢化丁腈橡胶。
3.根据权利要求1所述的一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，其特征在于：小密封圈(124)和小橡胶圈(128)选用NBR丁腈橡胶密封圈。
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